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微型电磁阀可以用于真空环境吗？

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无锡东英电子有限公司2025-03-18

有专门设计用于真空环境的微型电磁阀。这类真空微型电磁阀在结构和材料选择上进行了优化，以适应真空环境的特殊要求。其密封性能良好，能够有效防止空气或其他气体进入真空系统。例如在半导体制造工艺中的真空镀膜设备中，就会使用到真空微型电磁阀来控制气体的进出。但普通微型电磁阀由于密封和结构设计等原因，无法在真空环境下正常工作。

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