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光刻机、立式干涉仪怎么保证温度精度？

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南京拓展科技有限公司2025-03-19

极测精密温控设备运用自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达 0.1%，设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK（静态），温度水平均匀性小于 16mK/m。这一精度确保了在立式干涉仪运行时，光学元件与机械结构不受温度波动干扰，始终维持在蕞佳工作状态，为米青准测量提供稳定基础。

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简介：南京拓展科技专注于恒温恒湿、生物安全、洁净净化、高精密控制、实验动物设施等一站式整体实验室解决方案。
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    南京拓展科技有限公司 2025-03-20

    设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h，有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题，延长立式干涉仪使用寿命。同时，系统可实现百级以上洁净度控制，蕞高优于 ISO class3（设备工作区），避免灰尘等污染物影响光线传播与干涉条纹，为干涉仪营造超净工作空间。

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