PVD涂层镀膜设备开机与运行过程中的注意事项有哪些

丹阳市宝来利真空机电有限公司2025-04-05

按照正确顺序开机：严格按照设备操作手册规定的顺序开机。一般先开启总电源，然后启动冷却系统，接着开启真空系统进行抽气，待真空度达到一定要求后，再开启镀膜电源等其他设备。例如，在开启真空系统时，要等待真空泵预热完成后再启动抽气操作，否则可能会损坏真空泵。监控设备参数：在设备运行过程中，要密切关注各种参数，如真空度、气体流量、温度、电流、电压等。这些参数的变化会直接影响镀膜质量和设备的安全。例如，真空度不够会导致膜层疏松、附着力差；温度过高可能会损坏设备部件。如果发现参数异常，应立即停止镀膜操作，查找原因并进行处理。避免过度使用设备：要根据设备的额定功率、工作周期等参数合理安排镀膜任务，避免长时间连续高负荷运行。例如，对于一些小型的 PVD 涂层镀膜设备，连续工作时间过长可能会导致靶材过度消耗、电源过热等问题，从而缩短设备的使用寿命。防止靶材污染：在镀膜过程中，要确保靶材的清洁。如果靶材被污染，会影响膜层的质量和性能。例如，在溅射镀膜时，靶材表面的杂质可能会随着溅射粒子一起沉积到基底上，导致膜层出现缺陷。因此，在使用前要对靶材进行清洁处理，在镀膜过程中也要尽量避免外来杂质接触靶材。